VATE
I сокр. [versatile automatic test equipment] универсальное автоматическое испытательное оборудование II сокр. [vertical anisotropicetch(ing)] вертикальное анизотропное травление
I сокр. [versatile automatic test equipment] универсальное автоматическое испытательное оборудование II сокр. [vertical anisotropicetch(ing)] вертикальное анизотропное травление