Этимологический словарь Макса Фасмера
мате́рия
начиная с Петра I; см. Смирнов 190. Через польск. materia (Христиани 22, 49) или нем. Маtеriе (ХVI в.; см. Шульц–Баслер 2, 88) из лат. māteria.
материя
Материя
МАТЕРИЯ