ДИФФУЗИЯ, перемещение вещества в смеси из область с высокой концентрацией в области с низкой концентрацией, вызванное случайным перемещением отдельных атомов или молекул. Диффузия прекращается, когда исчезает градиент концентрации. Скорость диффузии увеличивается при повышении температуры, поскольку скорость движения молекул также возрастает при нагреве. Диффузия жидкостей и газов происходит быстро, твердые вещества диффундируют намного медленнее.
Для получения очень низких давлений (ниже 10 'паскаль) применяют механические насосы в сочетании с диффузионным насосом (один из типов вакуумного насоса). Масло (или ртуть) испаряется из нагреваемого резервуара (1) и поднимается вверх во внутренней камере (2), где происходит откачивание. Пары проходят за счет диффузии через небольшие отверстия во внутренних стенках и опускаются вниз по каналам (3), образованным кольцевыми щитками, к охлаждаемым стенкам наружной камеры (4) По мере того, как молекулы пара движутся вниз, они за хватывают и уносят с собой попадающиеся им на пути молекулы газа и тем самым увеличивают отток газа в наружную камеру. Затем пар (масла или ртути) конденсируется и стекает в резервуар, в то время как молекулы газа выводятся нагнетательным насосом (5). Минимальное давление, которого можно достичь таким образом, равно давлению масляного пара при той температуре, до которой охлаждены стенки камеры.